昙曜五窟现编号第16——20窟，是由昙曜和尚主持开凿的第一期窟洞，也是云冈石窟最引人注目的部分之一。据《魏书·释老志》载：“和平初，……昙曜白帝，于京城西武州塞，凿山石壁，开窟五所，镌建佛各一，高者七十尺，次六十尺，雕饰奇伟，冠于一世。”以道武、明元、太武、景穆、文成五帝为楷模，雕刻五尊大像。这五窟规模宏大，气魄雄伟。形制上共同特点是外壁满雕千佛，大体上都摹拟椭圆形的草庐形式，无后室。造像主要是三世佛（过去、未来、现在），主佛形体高大，占窟内主要位置。

第16窟本尊释迦立像高13.5米，而相清秀，英俊潇洒。第17窟正中为菩萨装的交脚弥勒坐像，高15.6米，窟小像大，咄咄逼人。

第18窟本尊为身披千佛袈裟的释迦立像，高15.5米，气势磅礴；东壁上层的众弟子造像造型奇特，技法娴熟。第19窟本尊为释迦坐像，高16．8米，为云冈第二大造像。第20窟为露天造像，正中为释迦坐像，高13.75米，为云冈石窟的代表作，面都半圆，深目高鼻，眼大唇薄。大耳垂肩，两肩齐挺，造型雄伟，气势浑厚。

云冈五华洞位于云冈石窟中部的第9——13窟。这五窟因请代施泥彩绘而得名。第9、10窟为一组前后室结构的双窟，建于北魏孝文帝太和八年（484），太和十三年竣工，辽代曾在此兴建崇福寺。两窟平面近方形。前定南壁凿成八角列柱，东西壁上部雕出三间访木构建筑的佛龛，余壁满雕佛像、飞天。后室窟门上雕有明窗，北壁主佛是释迦佛。第10窟主像是弥勒。后室门拱内外两面有精雕图案花纹，结构严谨，富于变化。第11——13窟是一组，具有前后窟的第12窟为中心窟。11窟中立方塔柱，塔柱四面上下开龛造像，除南面上龛为弥勒外，均为释迦立像。东壁上部有北魏太和七年（483）造像题记，是研究云冈开凿史的重要资料。窟东北有太和二十年（496）铭龛和七佛立像。第12窟前正室和东西壁上部均雕出三间仿木构建筑屋形佛龛，前列两柱，洞开三门，窟顶雕有伎乐天，手持排箫、琵琶、横笛、束腰鼓等乐器，是研究音乐史的重要资料。第13窟本尊是交脚弥勒菩萨，高约13米，右臂下雕一力士托扛，既产生了力学作用，又兼具装饰效果。南壁上层的七佛立像和东壁下层的供养天人，皆为窟中精品。东壁佛龛形制各异。五华洞雕饰绮丽，丰富多彩，是研究北魏历史、艺术、音乐、舞蹈、书法和建筑的珍贵资料，为云冈石窟群的重要组成部分。

云冈东部窟群，指云冈石窟东端1——4，均为塔洞。第1、2窟为同期开的一组，凿于孝文帝迁洛前，窟内中央雕造方形塔柱，四面开龛造像。第一窟主像是弥勒，塔南面下层雕释迦多宝像，上层雕释迦像。浮雕五层小塔，是研究北魏建筑的形象资料。第二窟是释迦像，塔南面下层雕释迦多宝像，上层雕三世佛。两窟南壁窟门两侧都雕有维摩、文殊。第三窟为云冈石窟中规模最大的洞窟，前立壁高约25米，传为昙曜译经楼。窟分前后两室。前室上部左右各雕一塔，中雕方形窟室，主像为弥勒，壁面满雕千佛。后室南面两侧雕刻有面貌圆润、肌肉丰满、农纹流畅的一佛三菩萨。坐像高约10米，二菩萨立像高6.2米。从风格和雕刻手法上看，很可能是初唐时的作品。第四窟风化水蚀严重，南壁窟门上方有北魏正光年间铭记，是云冈石窟现存最晚的铭记。